在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试的探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧，功能实用，成本较低的简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统

<*********>技术参数：

◆结构紧凑，功能实用，高性价比

◆可用于12寸以内样品测试    

◆1微米以上电极/PAD使用

◆兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜，可360°旋转和微调升降

◆漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）

◆精密丝杠/燕尾传动结构，线性移动，无回程差设计

◆应用于高等院校/研究所/公司实验室使用

◆模块化设计，可以根据应用增加和去除相应模块

◆多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等