Azbil山武*********系列微流量传感器使用山武公司独立研发的微流量传感器芯片，响应速度快。由于采用了质量流量的测量原理，其测量不受气体压力的影响。

　　*********可用于各种科学仪器中的空气流量的检测，也可用于微小电子部品吸附的确认。

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